机械密封的弹簧采用变径设计，提供更合理的弹力分布，适应不同工况需求
半导体工艺设备用耐等离子体、耐高温全氟醚橡胶FFKM O型圈及异型件
单向节流阀/速度控制阀，调节气缸排气或进气流量，实现气缸运行速度单向可调
